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D J E L 东 方 晶 源 T o g g l e n a v i g a t i o n 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 荣 誉 资 质 发 展 历 程 体 系 认 证 环 境 社 会 责 任 新 闻 中 心 公 司 新 闻 声 明 公 告 产 品 中 心 O P C E B I C D S E M 服 务 支 持 售 后 服 务 技 术 支 持 合 作 伙 伴 诚 聘 英 才 联 系 我 们 招 聘 职 位 福 利 待 遇 同 芯 同 源 十 年 晶 彩 东 方 晶 源 十 周 年 了 解 详 情 高 新 技 术 企 业 ， 人 才 是 根 本 加 入 我 们 ： h r @ d f j y j x . c o m 了 解 详 情 匠 心 智 造 创 芯 未 来 致 力 于 成 为 集 成 电 路 领 域 良 率 管 理 领 导 者 了 解 详 情 关 于 我 们 查 看 更 多 东 方 晶 源 微 电 子 科 技 （ 北 京 ） 股 份 有 限 公 司 成 立 于 2 0 1 4 年 ， 总 部 位 于 北 京 亦 庄 经 济 技 术 开 发 区 ， 是 一 家 专 注 于 集 成 电 路 良 率 管 理 的 企 业 。 公 司 自 成 立 以 来 坚 持 以 创 新 引 领 发 展 ， 申 报 国 内 外 发 明 专 利 6 0 0 余 项 ， 授 权 发 明 专 利 超 1 5 0 项 ， 软 件 著 作 权 2 5 项 ， 注 册 商 标 超 1 0 0 项 。 获 得 “ 国 家 高 新 技 术 企 业 ” 、 “ 中 关 村 高 新 技 术 企 业 ” 、 “ 北 京 市 专 利 试 点 企 业 ” 、 “ 博 士 后 工 作 站 ” 、 被 评 定 为 国 家 级 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 企 业 等 荣 誉 。 作 为 高 新 技 术 企 业 ， 人 才 是 根 本 。 东 方 晶 源 研 发 人 员 占 比 近 7 0 % ， 8 % 拥 有 博 士 学 位 ， 5 3 % 拥 有 硕 士 学 位 。 其 中 ， 亦 麒 麟 人 才 3 人 。 核 心 成 员 拥 有 美 国 硅 谷 、 日 本 和 欧 洲 等 世 界 一 流 半 导 体 科 技 公 司 的 产 品 研 发 和 管 理 经 验 。 公 司 优 势 国 际 化 团 队 自 主 知 识 产 权 国 内 外 合 作 产 品 展 示 查 看 全 部 O P C E B I C D S E M D R S E M P a n S i m Y i e l d B o o k 计 算 光 刻 产 品 O P C O P C 是 连 接 芯 片 设 计 和 制 造 的 关 键 技 术 ， 应 用 于 光 刻 掩 模 版 优 化 及 光 刻 机 光 源 优 化 ， 是 决 定 产 品 良 率 的 重 要 环 节 之 一 。 东 方 晶 源 十 年 磨 一 剑 ， 自 主 研 发 出 计 算 光 刻 产 品 O P C （ 专 利 号 C N 2 0 1 5 1 1 0 1 9 0 9 6 . 7 ） 。 目 前 ， 该 产 品 已 经 在 量 产 产 线 获 得 验 证 和 销 售 ， 解 决 了 国 内 芯 片 制 造 难 题 。 东 方 晶 源 O P C 产 品 采 用 先 进 的 全 芯 片 反 向 光 刻 技 术 （ I L T ） ， 通 过 深 度 学 习 和 大 数 据 对 光 刻 制 程 精 确 建 模 ， 优 化 工 艺 窗 口 ， 确 保 良 率 ； 同 时 基 于 H P O ™ 的 整 体 设 计 理 念 具 有 上 下 游 的 可 扩 展 性 ， 无 缝 连 接 设 计 和 制 造 ， 实 现 芯 片 良 率 的 显 著 提 升 。 电 子 束 缺 陷 检 测 设 备 E B I 电 子 束 缺 陷 检 测 设 备 （ E l e c t r o n B e a m I n s p e c t i o n , 简 称 E B I ） ， 应 用 电 子 束 扫 描 技 术 对 硅 片 表 面 进 行 高 分 辨 率 成 像 ， 通 过 智 能 算 法 检 测 出 硅 片 上 的 电 性 和 物 理 缺 陷 ， 是 芯 片 制 造 过 程 中 良 率 提 升 的 关 键 设 备 。 S E p A i 系 列 电 子 束 缺 陷 检 测 设 备 （ E B I ） ， 面 向 3 0 0 m m 硅 片 的 主 流 工 艺 制 程 。 通 过 先 进 的 电 子 束 成 像 系 统 、 高 速 工 件 台 和 强 大 的 数 据 计 算 机 ， 获 取 高 分 辨 率 图 像 ， 搭 配 缺 陷 检 测 算 法 、 自 动 缺 陷 分 类 （ A D C ） 算 法 ， 为 芯 片 制 造 过 程 提 供 高 精 度 的 缺 陷 检 测 和 良 率 解 决 方 案 。 关 键 尺 寸 量 测 设 备 C D S E M 关 键 尺 寸 量 测 设 备 （ C r i t i c a l D i m e n s i o n S c a n n i n g E l e c t r o n M i c r o s c o p e , 简 称 C D S E M ） ， 通 过 对 电 子 束 显 微 图 像 进 行 关 键 尺 寸 量 测 ， 实 现 关 键 工 艺 参 数 的 监 控 ， 是 芯 片 制 造 过 程 中 质 量 控 制 的 关 键 设 备 。 S E p A ® c 系 列 电 子 束 关 键 尺 寸 量 测 设 备 （ C D S E M ） ， 面 向 2 0 0 m m / 3 0 0 m m 硅 片 工 艺 制 程 。 通 过 先 进 的 电 子 束 成 像 系 统 和 高 速 硅 片 传 输 方 案 ， 搭 配 精 准 的 量 测 算 法 ， 实 现 高 重 复 精 度 、 高 分 辨 率 及 高 产 能 的 关 键 尺 寸 量 测 。 电 子 束 复 检 设 备 D R S E M 电 子 束 复 检 设 备 （ D e f e c t R e v i e w S c a n n i n g E l e c t r o n M i c r o s c o p e , 简 称 D R S E M ） ， 适 用 3 0 0 m m 硅 片 ， 通 过 超 高 分 辨 率 电 子 束 成 像 系 统 和 高 速 硅 片 传 输 方 案 ， 搭 配 精 准 的 检 测 算 法 ， 实 现 多 种 模 式 的 缺 陷 复 检 功 能 。 严 格 光 刻 仿 真 软 件 P a n S i m 严 格 光 刻 仿 真 软 件 P a n S i m 采 用 物 理 模 型 对 光 刻 过 程 进 行 建 模 ， 精 确 模 拟 光 刻 工 艺 ， 帮 助 光 刻 工 艺 工 程 师 进 行 新 技 术 节 点 研 发 和 改 进 产 品 工 艺 ， 同 时 大 大 减 少 研 发 成 本 。 目 前 P a n S i m 已 经 在 客 户 侧 进 行 验 证 ， 7 月 底 r e l e a s e V 1 . 0 版 本 。 P a n S i m 作 为 一 款 完 全 国 产 化 的 严 格 仿 真 工 具 ， 将 打 破 严 格 仿 真 工 具 被 西 方 所 垄 断 的 局 面 。 良 率 管 理 软 件 Y i e l d B o o k Y i e l d B o o k 是 依 托 于 公 司 对 于 E B I / C D S E M / D R S E M 等 硬 件 设 备 以 及 O P C 等 上 游 设 计 工 具 的 业 务 积 累 打 造 的 一 款 整 合 D M S / Y M S / F D C / P W Q / D 2 D B 等 功 能 于 一 体 的 良 率 管 理 软 件 产 品 。 该 软 件 采 用 新 型 高 效 的 架 构 技 术 、 分 布 式 数 据 库 及 模 块 化 的 前 端 界 面 ， 在 易 用 性 、 功 能 性 、 独 特 性 等 方 面 独 树 一 帜 。 产 品 核 心 算 法 已 具 备 ， 多 模 式 高 性 能 P a t t e r n G r o u p i n g 算 法 ， 达 到 业 界 先 进 水 平 。 新 闻 动 态 查 看 更 多 与 时 俱 进 ， 引 领 未 来 ！ 东 方 晶 源 计 算 光 刻 P a n G e n V 5 . 0 强 势 来 袭 东 方 晶 源 自 2 0 1 4 年 成 立 之 初 即 创 造 性 提 出 基 于 C P U + G P U 混 合 算 力 构 架 实 现 的 全 芯 片 反 向 光 刻 技 术 （ I L T ） 计 算 光 刻 解 决 方 案 ， 并 基 于 此 形 成 P a n G e n ® 良 率 综 合 优 化 产 品 。 历 经 1 0 年 的 开 发 与 迭 代 ， 该 产 品 已 经 广 泛 应 用 于 国 内 主 流 逻 辑 和 存 储 芯 片 制 造 商 的 工 艺 研 发 和 量 产 中 。 2 0 2 4 1 2 0 2 东 方 晶 源 2 0 2 5 届 校 招 北 京 大 学 宣 讲 会 圆 满 落 幕 ， 携 手 精 英 共 创 “ 芯 ” 未 来 在 这 金 秋 送 爽 、 收 获 满 满 的 季 节 里 ， 东 方 晶 源 走 进 国 内 顶 尖 学 府 之 一 的 北 京 大 学 ， 成 功 举 办 了 一 场 别 开 生 面 的 校 招 宣 讲 会 。 此 次 活 动 面 向 2 0 2 5 届 硕 士 、 博 士 毕 业 生 ， 为 东 方 晶 源 与 北 大 学 子 之 间 搭 建 了 一 个 深 入 了 解 的 桥 梁 。 2 0 2 4 1 1 1 3 聚 焦 前 沿 技 术 ， 探 索 产 业 发 展 ！ 东 方 晶 源 受 邀 参 加 第 八 届 国 际 先 进 光 刻 技 术 研 讨 会 东 方 晶 源 作 为 国 内 计 算 光 刻 领 域 的 先 行 者 、 领 导 者 、 探 索 者 亮 相 本 次 大 会 ， 带 来 最 新 研 发 成 果 ， 与 业 界 代 表 共 同 探 讨 最 新 技 术 动 态 。 2 0 2 4 1 0 1 8 2 0 2 4 1 0 1 8 东 方 晶 源 P a n G e n 平 台 再 添 新 成 员 套 刻 标 记 优 化 工 具 P a n O V L 上 线 2 0 2 4 0 9 2 9 创 新 驱 动 合 作 共 赢 ！ 东 方 晶 源 闪 耀 第 十 二 届 半 导 体 设 备 年 会 2 0 2 4 0 9 2 5 创 芯 突 破 ， 智 造 未 来 ！ 东 方 晶 源 精 彩 亮 相 第 二 届 I D A S 峰 会 联 系 我 们 联 系 电 话     0 1 0 8 0 8 2 3 2 0 0 联 系 地 址     北 京 市 北 京 经 济 技 术 开 发 区 经 海 四 路 1 5 6 号 院 1 2 号 楼 版 权 所 有     东 方 晶 源 微 电 子 科 技 （ 北 京 ） 股 份 有 限 公 司 京 I C P 备 1 6 0 0 9 6 9 3 号 1 京 公 网 安 备 1 1 0 1 1 5 0 2 0 3 8 2 4 2 号

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